激光干涉儀作為現(xiàn)代精密測(cè)量?jī)x器的代表，以光波為載體，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度分辨率高的特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于精密制造、測(cè)量等行業(yè)，在精密位移、直線度、垂直度等測(cè)量領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。

　　

　　在干涉儀的實(shí)際使用中，需要確認(rèn)其在各種測(cè)量應(yīng)用中的真實(shí)精度水平，以確保測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。干涉儀的測(cè)量讀數(shù)與激光波長(zhǎng)有關(guān)，因此激光頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是干涉儀測(cè)量精度的保證。此外，干涉儀環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)（壓力、溫濕度傳感器）的讀數(shù)精度對(duì)測(cè)量精度有重要影響。

　　

　　綜上所述，影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：

　　

　　1、激光頻率(波長(zhǎng))和頻率穩(wěn)定性；

　　

　　2、測(cè)量讀數(shù)軟件系統(tǒng)造成的誤差；

　　

　　3、反射鏡、角錐棱角誤差；

　　

　　4、溫濕度、壓力傳感器誤差；

　　

　　當(dāng)然，具體測(cè)量任務(wù)中的測(cè)量精度也與測(cè)量人員、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān)。

　　

　　激光干涉儀在購(gòu)買和投入使用前應(yīng)驗(yàn)證其關(guān)鍵性能。隨著使用壽命的增加，干涉儀（包括環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)）的性能可能會(huì)因老化或使用不當(dāng)而下降，從而影響測(cè)量精度。

　　

　　因此，有必要定期校準(zhǔn)干涉儀測(cè)量系統(tǒng)的關(guān)鍵性能參數(shù)，以確保在精確測(cè)量應(yīng)用中獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)結(jié)果。根據(jù)測(cè)量驗(yàn)證程序的要求，需要定期校準(zhǔn)干涉儀的激光頻率、測(cè)距誤差、測(cè)角誤差和環(huán)境補(bǔ)償傳感器。